산업부, 반도체 공정 핵심 EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다

정부가 반도체 초미세 공정의 핵심 장비인 EUV(극자외선) 노광장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 이에 따라 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 첨단 생산라인 구축에 필수적인 EUV 장비를 보다 신속하게 도입할 수 있게 될 전망이다.

산업통상자원부(장관 김정관)는 6월 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 기존 고압가스 일반제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하는 내용을 담은 「고압가스 안전관리법 시행령」 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.

이번 개정안이 시행되면 EUV 장비 도입 시 필요한 기술검토와 검사 절차가 간소화되면서 장비 1대당 도입 기간이 기존 34일에서 9일로 단축된다. 최대 25일의 시간이 절감되는 셈이다.

또한 해외 공인검사기관에서 실시하는 내압·기밀 검사 절차가 생략돼 장비당 약 5억 원에 달하는 검사 비용도 줄어들 것으로 예상된다.

그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있다는 이유로 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 각종 검사 절차를 거쳐야 했고, 이 과정에서 생산라인 구축 일정이 지연되는 등 업계의 부담이 지속적으로 제기돼 왔다.

산업부는 반도체 업계와의 수차례 협의를 거쳐 현장의 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계의 정합성을 검토한 결과 EUV 장비를 기존 제조시설에서 특정설비로 전환해 관리하는 방안을 마련했다.

정부는 특정설비로 전환되더라도 안전성이 저하되지 않도록 제조사에 대한 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시해 제조공정과 품질관리 능력을 지속적으로 점검할 계획이다.

산업부는 이번 제도 개선이 국내 반도체 기업들의 첨단 제조장비 도입을 촉진하고 생산라인 가동 시기를 앞당겨 글로벌 반도체 경쟁력 확보에 도움이 될 것으로 기대하고 있다.

이번 시행령 개정과 함께 시행규칙 개정도 추진된다. 정부는 친환경 세탁기술인 ‘액화 이산화탄소 세정설비’의 국내 상용화를 지원하기 위해 맞춤형 검사기준을 신설하고, 위험성이 낮은 고압가스 시설의 안전관리자 선임 기준도 현실에 맞게 조정할 계획이다.

액화 이산화탄소 세정설비는 물과 세제 대신 이산화탄소를 활용해 의류를 세탁하는 기술로, 폐수 처리시설이나 배기 정화시설이 필요 없어 친환경 설비로 주목받고 있다. 해당 기술은 지난 2022년부터 규제 샌드박스를 통해 안전성을 검증받아 왔다.

이와 함께 상업용 액화 이산화탄소 세정설비와 일부 고압가스 저장시설에 대해서는 안전관리자 자격요건을 완화해 산업 현장의 부담을 줄일 방침이다.

개정안은 다음 주 공포와 동시에 시행될 예정이다.

김정관 산업통상자원부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적인 안전관리 체계를 구축해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.

업계에서는 이번 규제 개선으로 첨단 반도체 생산시설 구축 속도가 빨라지고 투자 효율성도 높아질 것으로 기대하고 있다.